SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀(guān)察物體表面結(jié)構(gòu)的電子光學(xué)儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號(hào)的收集和處理系統(tǒng)、電子信號(hào)的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。
 

　　SEM掃描電鏡在使用時(shí)應(yīng)需要以下事項(xiàng)：
 

　　1、將試樣置于載物臺(tái)墊片，調(diào)整粗/微調(diào)旋鈕進(jìn)行調(diào)焦，直到觀(guān)察到的圖像清晰為止；
 

　　2、調(diào)整載物臺(tái)位置，找到要觀(guān)察的視野，進(jìn)行分析；
 

　　3、掃描電鏡調(diào)焦時(shí)注意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡；
 

　　4、當(dāng)載物臺(tái)墊片圓孔中心的位置遠(yuǎn)離物鏡中心位置時(shí)不要切換物鏡，以免劃傷物鏡；
 

　　5、在做切換動(dòng)作時(shí)，動(dòng)作要輕，要到位，關(guān)機(jī)時(shí)要將亮度調(diào)到小；
 

　　6、亮度調(diào)整切忌忽大忽小，也不要過(guò)亮，影響燈泡的使用壽命，同時(shí)也有損視力；
 

　　7、非專(zhuān)業(yè)人員不要調(diào)整顯微鏡照明系統(tǒng)(燈絲位置燈)，以免影響成像質(zhì)量；
 

　　8、更換鹵素?zé)魰r(shí)要注意高溫，以免灼傷；注意不要用手直接接觸鹵素?zé)舻牟Ａw；
 

　　9、設(shè)備不使用時(shí)及時(shí)關(guān)掉電源。
 

　　SEM掃描電鏡可通過(guò)改變物鏡的透鏡系統(tǒng)人們可以直接放大物鏡的焦點(diǎn)的像，由此人們可以獲得電子衍射像，使用這個(gè)像可以分析樣本的晶體結(jié)構(gòu)，在這種掃描電鏡中，圖像細(xì)節(jié)的對(duì)比度是由樣品的原子對(duì)電子束的散射形成的，由于電子需要穿過(guò)樣本，因此樣本必須薄。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。
 

　　原子量越高、電壓越低，樣本就必須越薄。樣品較薄或密度較低的部分，電子束散射較少，這樣就有較多的電子通過(guò)物鏡光欄，參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的部分，在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過(guò)密，則像的對(duì)比度就會(huì)惡化，甚至?xí)蛭针娮邮哪芰慷粨p傷或破壞。