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9-24
臺式電鏡SEM可以對器件的尺寸和一些重要的物理參數(shù)進(jìn)行分析,如結(jié)深、耗盡層寬度少子壽命、擴(kuò)散長度等等,也就是對器件的設(shè)計(jì)、工藝進(jìn)行修改和調(diào)整。臺式掃描電鏡二次電子像可以分析器件的表面形貌,結(jié)合縱向剖面解剖和腐蝕,可以確定PN結(jié)的位置、結(jié)的深度。利用臺式掃描電鏡束感生電流工作模式,可以得到器件結(jié)深、耗盡層寬度、MOS管溝道長度,還能測量擴(kuò)散長度、少子壽命等物理參數(shù)。對于1nm以下的短溝道器件檢測,可用類似于測量耗盡層寬度的方法,電子束對MOS場效應(yīng)管進(jìn)行掃描,得到二條束感生電流...
9-24
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流和束斑都較大,抗干擾能力和穩(wěn)定性都較好,低真空下可以對不導(dǎo)電樣品無荷電成像,可用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析、斷口形貌分析,在材料、地質(zhì)、礦產(chǎn)、冶金、機(jī)械、化學(xué)、化工、物理、電子、生物、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的用途。工作原理:通過對電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓,使電子槍處于熱激發(fā)狀態(tài),在陽極作用下,處于熱激發(fā)的電子槍就可以激發(fā)出電子束。經(jīng)過掃描線圈磁場的控制,電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描,激發(fā)出二次電子、背散射電子等物理信號,經(jīng)探測器收集、放大器放大后,調(diào)制得圖像。鎢...
9-18
熒光體視顯微鏡是活體動物體內(nèi)熒光成像技術(shù)的核心技術(shù),它主要廣泛應(yīng)用于生物、工業(yè)檢測、司法刑偵等領(lǐng)域,既是熒光防偽印刷檢測的工具,也是是礦物研究的理想儀器。熒光體視顯微鏡使用方法:(1)將材料片放在載物臺上。(2)開啟熒光顯微鏡穩(wěn)壓器,然后按下啟動組點(diǎn)燃紫外燈15min內(nèi)不得關(guān)閉,關(guān)閉后3min內(nèi)不得再啟動。(3)將激發(fā)濾光片轉(zhuǎn)至v,分色片調(diào)到v,選用495或475nm阻擋濾光片。(4)選用uvFL40、uvFL100熒光接物鏡鏡檢。(5)在玻片上加無熒光油,先用40x,再用1...
9-13
煤巖分析是指以光學(xué)顯微鏡為主要主具兼用肉眼和其他手段,對煤的巖石組成、結(jié)構(gòu)、性質(zhì)、煤化度作定性描述和定量測定的方法。是研究煤帶學(xué)的重要手段。煤巖分析系統(tǒng)源于煤炭試驗(yàn)方法標(biāo)準(zhǔn)及其說明中煤的鏡質(zhì)體反射率顯微鏡測定方法而得來,主要檢測煉焦煤之前煤種的配比及含量,有效檢測出煉焦煤前的煤炭種類。適用于電力、煤炭、造紙、石化、水泥、農(nóng)牧、醫(yī)藥、科研、教學(xué)等行業(yè)或部門測定煤炭中的煤種類別。煤巖分析系統(tǒng)使用環(huán)境:1、煤巖光片制樣室一間,10平方米以上,220V電壓,帶上下水,配小型通風(fēng)櫥一個(gè)...
9-10
既然是光源限制了顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率的發(fā)展,那么要想提高顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率,就應(yīng)該更換波長更短的光源。隨著人們對電磁波的認(rèn)識,人們了解到:在一定的電壓下電子束的波長可以達(dá)到零點(diǎn)幾個(gè)納米,使用電子束做為光源,顯微鏡的分辨率就可能提高幾個(gè)數(shù)量級。日本電子電鏡是根據(jù)電子光學(xué)原理,用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡,使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。電子源:發(fā)射并形成速度均勻的電子束;電磁透鏡:用來聚焦電子;真空裝置:保障顯微鏡內(nèi)的真空狀態(tài),使電子在其路徑上...
9-6
穩(wěn)態(tài)瞬態(tài)熒光光譜儀可進(jìn)行穩(wěn)態(tài)熒光光譜及熒光壽命測量,是物質(zhì)結(jié)構(gòu)與成分分析的有力手段之一。廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、材料、生物、環(huán)保、醫(yī)藥等領(lǐng)域,開展光致發(fā)光、化學(xué)發(fā)光以及生物發(fā)光等方面的研究。主要功能:1、穩(wěn)態(tài)測試:激光譜和發(fā)射譜掃描、同步掃描、動力學(xué)測試、激發(fā)-發(fā)射三維圖譜、等高線圖譜、絕對熒光量子產(chǎn)率測量、上轉(zhuǎn)換熒光測量、色度分析、近紅外光譜測量2、瞬態(tài)測試:熒光磷光壽命測量、單指數(shù)和多指數(shù)衰減、時(shí)間分辨發(fā)射光譜(TRES)、單體-激基締合物動力學(xué)、溶劑弛豫動力學(xué)。穩(wěn)態(tài)瞬態(tài)熒...
8-31
場發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種。廣泛用于生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質(zhì)礦物、商品檢驗(yàn)、產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析??梢杂^察和檢測非均相有機(jī)材料、無機(jī)材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。場發(fā)射分熱場和冷場,共性是分辨率高。熱場的束流大些,適合進(jìn)行分析,但維護(hù)成本相對較高,維護(hù)要求高。冷場做表面形貌觀測是適合的,相對而言維護(hù)成本低些,維護(hù)要求不算高。冷熱場發(fā)射電鏡有哪些區(qū)別?1、適用范圍不同。冷場發(fā)射掃描電鏡是一種用于材料科...
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